【下游晶圆厂持续开展产能扩充！半导体设备ETF万家关注度提升】9月15日，截至10：25，半导体设备ETF万家(159327)跟踪指数半导体材料设备指数上涨4.41%，个股方面，华海清科涨超9%，拓荆科技、长川科技涨超4%，中微公司、北方华创等涨超3%。